日前，由浙江大学承担的“Power MEMS器件建模、仿真及优化设计研究”课题通过了由863计划先进制造与自动化技术领域MEMS专项组织的专家验收。
    
    该课题通过对冷（液氮）热（燃烧）源及其机电、热电转换微系统的理论分析，通过系统建模、仿真计算、优化设计与实验模拟等，形成了高能量密度、微型、轻型电源的仿真库，并结合仿真结果制作了原理样机装置及其基本测试系统，为MEMS及其应用系统提供必不可少的能源支撑条件奠定了一定的基础。
    
    （2005年9月19日）